温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种晶圆检测装置，其包括底座，底座上设有显微镜和齿条，底座上滑动连接有移动板，移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，第二齿轮与齿条啮合，移动板上滑动连接有滑动台，丝杆与滑动台螺纹连接，移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，滑动台上设...
该专利属于无锡新微阳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡新微阳科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。