下载一种微机电系统器件的封装结构的技术资料

文档序号:30511469

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本实用新型涉及微机电技术领域,且公开了一种微机电系统器件的封装结构,包括基板,所述基板的顶部开设有定位槽,所述定位槽的内部固定安装有器件芯片。该微机电系统器件的封装结构,通过在进行封装的时候,将密封罩的上的滑片顺着定位箱的滑槽插入下压,当密...
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