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本实用新型涉及一种用于晶圆自动导片的暂存装置，其包括竖直设置的架板、设置在架板上的夹臂组件，夹臂组件包括分别自架板向外延伸的左夹臂和右夹臂、及驱动左夹臂和右夹臂同步运动的驱动部件，当晶圆导片至左夹臂与右夹臂之间时，驱动部件驱动左夹臂和右夹臂...
该专利属于苏州新尚思自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新尚思自动化设备有限公司授权不得商用。

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