专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
细美事有限公司
>
基板处理装置和液体供应方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载基板处理装置和液体供应方法的技术资料
文档序号:30499596
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及基板处理装置和液体供应方法。本发明构思提供基板处理装置。在实施方式中,基板处理装置包括:壳体,该壳体具有用于在该壳体的内部中处理基板的处理空间;支承单元,该支承单元在该处理空间中支承该基板;喷嘴,该喷嘴将液体供应到位于该支承单元上...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。