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本发明涉及测定装置以及测定方法。在基于干涉光对测定对象的形状进行测定且测定对象的凹凸尺寸大于波长的情况下，无法实施高精度的形状测定。测定装置具备：光源部，射出光；分光元件，使从所述光源部射出的光中预定波长的光透射，且能够变更在预定的波长范围...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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