【技术实现步骤摘要】
测定装置以及测定方法
[0001]本专利技术涉及测定装置以及测定方法。
技术介绍
[0002]以往，已知有一种测定装置，将从光源射出的光分离为参照光和测定光，将由对象物反射的测定光和由参照体反射的参照光合成而形成干涉光，并基于干涉光的光量测定对象物的形状、到对象物的距离(例如，参照专利文献1)。
[0003]在这样的测定装置中，在测定光与参照光的光路长度差成为波长的整数倍的情况下干涉光的光量达到最大，在光路长度差不成为波长的整数倍的情况下光量减少。因此，能够基于干涉光的光强度，计算从测定装置到对象物的测定点的距离、或者测定对象物的形状。
[0004]例如，在专利文献1中，通过由可动部使参照体或光学系统(光束分离器)移动，使测定光以及参照光的光路长度变化，并根据基于光路长度差的干涉条纹图案、即由受光部接收的干涉光的受光量(光强度)，测定对象物的形状。
[0005]即，在使用光干涉的测定装置中，在将测定光以及参照光的波长设为λ，使光学系统朝向对象物仅移动移动量z的情况下，由受光部接收的光的受光量达到峰值(...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测定装置，其特征在于，具备：光源部，射出光；分光元件，使从所述光源部射出的光中预定波长的光透射，且能够变更在预定的波长范围内透射的所述光的波长；干涉光学系统，将从所述分光元件射出的光分离为照射到测定对象的测定光和由参照体反射的参照光，并生成将由所述测定对象反射后的所述测定光和由所述参照体反射后的所述参照光合成而得的干涉光；受光部，接收所述干涉光；以及位置计算部，基于光谱信息计算所述测定对象的位置，所述光谱信息是使从所述分光元件透射的光的波长变化时在所述受光部的受光量的变化。2.根据权利要求1所述的测定装置，其特征在于，所述测定装置还具备光路长度调整部，所述光路长度调整部调整所述测定光以及所述参照光的光路长度差，所述光路长度调整部以使所述光谱信息的所述波长范围内包括的峰值波长的数量达到最小的方式调整所述光路长度差。3.根据权利要求2所述的测定装置，其特征在于，所述光路长度调整部使所述测定光的光路长度变化。4.根据权利要求2或3所述的测定...
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