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本实用新型涉及晶圆检测上下料技术领域，具体涉及一种用于晶圆检测的机械手上下料机构，包括工作架，工作架的顶部安装有旋转组件，旋转组件的上端安装有旋转架，旋转架的前后两侧安装有平移组件，前后两侧平移组件上安装有机械手组件，通过控制旋转组件、平移...
该专利属于无锡光诺自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡光诺自动化科技有限公司授权不得商用。

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