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本实用新型公开了用于PECVD反应室的辅助加热装置及PECVD反应室。辅助加热装置包括绝缘封头、保护管和辅助加热丝，所述绝缘封头设于反应室一端端部的外侧，且绝缘封头与反应室的端部之间具有密封结构，所述反应室一端端部的内侧设有内安装套，所述保...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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