温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置。其特点是包括筒体。所述筒体为圆筒，其口部有盖板，其筒底上有中心孔，中心孔内有缓冲管。所述缓冲管上端从所述中心孔之外伸入筒体内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端为斜切端，其下端伸...
该专利属于无锡柏斯威科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡柏斯威科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。