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本实用新型提供一种具有颗粒监测功能的去离子水清洗设备，包括去离子水清洗槽、补给管路、颗粒监测装置、控制装置及报警装置；去离子水清洗槽用于承载去离子水及待清洗件；补给管路一端与去离子水清洗槽相连通，另一端与去离子水源相连接；颗粒监测装置位于补...
该专利属于苏州恩腾半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州恩腾半导体科技有限公司授权不得商用。

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