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本申请公开了一种曝光设备,属于掩膜版制造技术领域。曝光设备,包括:机体;工件放置板,所述工件放置板可从所述机体外部滑动至所述机体内部,所述工件放置板用于放置掩膜版;紫外线灯板,所述紫外线灯板位于所述机体内部,所述紫外线灯板用于照射所述工件放...该专利属于深圳市路维光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市路维光电股份有限公司授权不得商用。
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