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本实用新型涉及一种ALD尾气热解组件以及抽气装置。其中的热解组件包括壳体、加热器、处理体以及固定体，加热器设置在壳体的周面外侧，处理体设置在壳体内，处理体设置有贯通的处置孔，处置孔的两端分别连接有输入管和输出管，输入管以及输出管分别穿出壳体...
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