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本发明属于有机高分子材料技术领域，特别涉及一种低介电聚酰亚胺薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）内层含氟的SiO2中空球的制备；（2）将内层含氟的SiO2中空球加入到极性有机溶剂中，超声分散，然后加入等摩尔比的二胺和二酐，反应得到聚酰胺酸...
该专利属于梁力所有，仅供学习研究参考，未经过梁力授权不得商用。

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