下载一种基于三维纳米管的气体传感器、制造方法及其应用的技术资料

文档序号:30446568

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基于三维纳米管的气体传感器、制造方法及应用,所述方法包括:将三维纳米管阵列贯穿阳极氧化铝薄膜并且允许气体从三维纳米管的两端流通,阳极氧化铝薄膜第一表面的第一电极和其第二表面的第二电极之间设置有以三维纳米管为基底且沉积有气敏材料...
该专利属于艾感科技(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾感科技(广东)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。