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本申请提供了一种晶圆的检测方法，包括：获取晶圆的第一图像，第一图像包含表示晶圆的缺陷信息的整体特征；基于第一图像确定晶圆的第二图像，第二图像包含表示晶圆的缺陷信息的细节特征；将整体特征与细节特征进行融合，以生成融合后的特征；以及通过晶圆缺陷...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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