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本发明气压/液压式微力自调节RF探针卡装置及自调节方法属于半导体芯片测试技术领域；该RF探针卡装置设计有能够利用气体或液体驱动导杆运动，进而带动薄膜探针上下运动的结构，同时还设置有压力传感器；通过压力传感器将压力值传递给上位机，并在上位机的...
该专利属于强一半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

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