下载一种增益耦合分布反馈式半导体激光器及其制作方法的技术资料

文档序号:30437629

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本申请公开了一种增益耦合分布反馈式半导体激光器及其制作方法,该方法包括获得激光器下结构体,激光器下结构体包括由下至上依次层叠的衬底、缓冲层和下包层;采用原位激光诱导图形化外延技术在激光器下结构体的上表面外延生长无缺陷的量子点阵列作为有源层,...
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