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本发明公开了一种同质种子层调控氧化铪基铁电薄膜电学性能的方法，其包括：制备氧化铪基种子层前驱体溶液；制备铁电薄膜的薄膜前驱体溶液；用所述种子层前驱体溶液制得氧化铪基种子层；在所述氧化铪基种子层上旋涂所述薄膜前驱体溶液，对所述薄膜前驱体溶液进...
该专利属于湘潭大学所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭大学授权不得商用。

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