下载一种薄膜电感器加工工艺和薄膜电感器的技术资料

文档序号:30432857

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本申请涉及电感器加工技术领域,具体公开了一种薄膜电感器加工工艺和薄膜电感器,加工工艺包括如下步骤:设置第一绝缘层;在绝缘基板处外加磁场,设置钛层、第一铜层;设置第一挂镀铜,形成电感线圈、正面电极;设置导热硅脂填充二氧化硅层、二氧化硅层,形成...
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