下载硅基扇出型封装布线方法的技术资料

文档序号:30428672

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本发明涉及半导体封装技术领域,具体公开了一种硅基扇出型封装布线方法,包括以下步骤:步骤S12:将待封装芯片埋入硅基板的凹槽内,在所述芯片的侧面与所述凹槽的侧壁之间的间隙填充间隙介质层;步骤S13:在所述硅基板上形成介质层;步骤S14:在所述...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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