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用于制造碳化硅器件的方法技术
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下载用于制造碳化硅器件的方法的技术资料
文档序号:30427098
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一种形成半导体结构体的方法,所述方法包括:在碳化硅(SiC)器件的制造中提供非平面的表面;在所述非平面的表面上沉积可回流的介电材料;以及加热所述可回流的介电材料至一定温度并且达一定时间,所述温度和时间足以引起所述可回流的介电材料的回流,并且...
该专利属于X-FAB德州公司所有,仅供学习研究参考,未经过X-FAB德州公司授权不得商用。
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