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本发明提供了一种多孔聚氨酯抛光垫,包括具有大孔的多孔基体,大孔从基表面向上延伸并向上表面开口。大孔延伸到顶部抛光表面并包括具有竖直取向的下区段和上区段。下区段和上区段在水平方向上偏移。中等尺寸的孔具有柱形状和邻近于中间区段起源的竖直取向,小...该专利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司授权不得商用。
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