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用于集成电路器件的热测试头包括：热交换器组件；构造成接触集成电路的接触组件；以及设置在热交换器组件和接触组件之间的热控制组件。热控制组件包括与热交换器组件和接触组件的相对表面热接触的珀耳帖装置，以及与热交换器组件和接触组件的相对表面物理接触...
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