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本发明涉及基板处理用通电装置，本发明可包括：腔室部，进行接地；转轴部，安装于所述腔室部，并且与所述腔室部通电；操作台部，安装于所述转轴部并旋转，并且与所轴部通电；固定部，沿着所述操作台部的圆周方向安装有多个，并且与基板通电；以及驱动部，用于...
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