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提供了一种调节膜应力的方法。在一实施例中，通过在第一步骤中顺序且交替地供应第一反应物和第二反应物来在基板上形成第一膜，并且通过在第二步骤中向第一膜供应第三反应物来将第一膜转化为第二膜。通过控制第一步骤和第二步骤的比率来调节第二膜的膜应力。二...
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