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本发明涉及基板处理装置及方法，包括：操作台部；转轴部，以能够旋转的方式安装于操作台部，并且使放置的基板进行旋转；第一处理部，安装于操作台部，并且向基板喷射第一干燥物质；以及第二处理部，安装于操作台部，并且向已喷射第一干燥物质的基板喷射第二干...
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