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本发明涉及具有多个堆叠层的偏振器，涉及偏振器的结构以及形成偏振器的结构的方法。第一槽形波导组件位于第一波导芯上方，以及第二槽形波导组件位于该第一槽形波导组件上方。该第一槽形波导组件包括通过第一凹槽隔开的第二波导芯与第三波导芯，以及该第二槽形...
该专利属于格芯（美国）集成电路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格芯（美国）集成电路科技有限公司授权不得商用。

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