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光学波导装置和制造光学波导装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:30425580
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光学波导装置和制造光学波导装置的方法。光学波导装置具有:基板,层叠在基板上的中间层、包含X切割的铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层,以及在薄膜LN层中形成的具有脊形形状的光学波导。光学波导装置包括分别设置在光学波导的第一侧和第二侧处的多个电极。电极...
该专利属于富士通光器件株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通光器件株式会社授权不得商用。
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