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光波导装置包括：基板，其上堆叠有中间层、铌酸锂薄膜LN层和缓冲层；光波导，其形成在薄膜LN层中；多个电极，其在光波导附近。中间层和缓冲层包含元素周期表的第3族至第18族的任一个中的金属元素的相同材料。个中的金属元素的相同材料。个中的金属元素...
该专利属于富士通光器件株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士通光器件株式会社授权不得商用。

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