下载半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构的形成方法,所述半导体结构的形成方法包括:提供基底;在所述基底上形成伪栅;在所述伪栅两侧的基底中形成源漏掺杂区;在所述伪栅两侧形成覆盖所述源漏掺杂区的层间介质层;在形成所述层间介质层后,对所述伪栅进行表面处理,适于减小所述伪栅...
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