下载有源区、有源区阵列及其形成方法的技术资料

文档序号:30423266

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本发明涉及一种有源区、有源区阵列及其形成方法,有源区形成于衬底中,有源区中设有字线结构,字线结构沿第一方向贯穿有源区,并将有源区划分为源极区和漏极区,源极区和漏极区沿第二方向排列,且漏极区在第三方向上的尺寸大于源极区在第三方向上的尺寸;其中...
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