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半导体元件及其制作方法技术
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文档序号:30414560
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本发明公开一种半导体元件及其制作方法,其中制作半导体元件的方法为,主要先形成一第一金属内连线于一基底上,然后形成一停止层于第一金属内连线上,去除停止层以形成一第一开口,形成一电迁移增进层于第一开口内,再形成一第二金属内连线于电迁移增进层上,...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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