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本发明公开了一种耐等离子体腐蚀涂层的制备方法，包括：提供基体，预置第一涂层粉体和第二涂层粉体；提供送粉器，所述送粉器将所述第一涂层粉体覆盖所述基体，提供能量发生器，所述能量发生器发射能量束对所述第一涂层粉体扫描辐照，使所述第一涂层粉体熔融，...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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