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本发明公开了一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻分解结构及测试结构,其可实现源漏寄生电阻分开提取,便于进行测试操作,鳍式场效应晶体管包括鳍、分布于鳍的栅极区、源漏极区、接触层、分布于源漏极区两侧的延伸层,相邻两个栅极区之间设置有一个接触层,源漏...该专利属于澳芯集成电路技术(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过澳芯集成电路技术(广东)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻分解结构及测试结构,其可实现源漏寄生电阻分开提取,便于进行测试操作,鳍式场效应晶体管包括鳍、分布于鳍的栅极区、源漏极区、接触层、分布于源漏极区两侧的延伸层,相邻两个栅极区之间设置有一个接触层,源漏...