下载一种MOS型超结功率器件的终端结构的技术资料

文档序号:30410584

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本发明属于功率半导体技术领域,公开了一种MOS型超结功率器件的终端结构,从器件边缘向器件有源区方向依次为终端区、过渡区和元胞区,终端区、过渡区和元胞区共用第一导电类型半导体衬底以及位于第一导电类型半导体衬底上方的第一导电类型外延层;本发明提...
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