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本发明公开了一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法。所述快速判别方法包括如下步骤:(1)以金属为靶材,玻璃为衬底,在惰性气体下进行直流磁控溅射,得到金属薄膜;(2)测试步骤(1)得到的金属薄膜反面的镜像光泽度,识别粗糙度。本发明通过对金属薄膜反面...该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法。所述快速判别方法包括如下步骤:(1)以金属为靶材,玻璃为衬底,在惰性气体下进行直流磁控溅射,得到金属薄膜;(2)测试步骤(1)得到的金属薄膜反面的镜像光泽度,识别粗糙度。本发明通过对金属薄膜反面...