一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法技术

本发明专利技术公开了一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法。所述快速判别方法包括如下步骤：(1)以金属为靶材，玻璃为衬底，在惰性气体下进行直流磁控溅射，得到金属薄膜；(2)测试步骤(1)得到的金属薄膜反面的镜像光泽度，识别粗糙度。本发明专利技术通过对金属薄膜反面的镜像光泽度的测试，不仅可以判断金属薄膜在直流磁控溅射沉积过程中的粗糙度，快速的筛选制备的产品是否合格；又可以通过判断在特定直流磁控溅射参数下制备的产品的粗糙度，来进一步来指导优化直流磁控溅射的参数，使制备的金属薄膜具有纯度高、氧化度低以及粗糙度低的特点。且本发明专利技术所述方法有利于降低由于金属薄膜表面和内部粗糙度异常导致的产品不良的几率，缩短金属薄膜的质检时间。的质检时间。

【技术实现步骤摘要】
一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法


[0001]本专利技术属于靶材粗糙度识别
，具体涉及一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法。

技术介绍

[0002]金属铟具有延展性好，可塑性强，熔点低，沸点高，低电阻，抗腐蚀等优良特性，且具有较好的光渗透性和导电性，被广泛应用于宇航、无线电和电子工业、医疗、国防、高新技术、能源等领域。
[0003]采用直流磁控溅射生长金属铟薄膜，发现沉积的薄膜表面不光滑，无金属光泽。考虑到造成薄膜粗糙的原因可能为溅射所用气体不纯导致薄膜氧化，或薄膜表面粗糙度高，存在大颗晶粒，晶界散射多，形成表面散射光，影响薄膜的透光性能。现有技术通过对薄膜进行方阻测试，从而确定薄膜是否存在氧化，但在薄膜厚度较厚时，方阻测试无法确定氧化只存在薄膜表面还是所有沉积膜层。
[0004]综上，在目前测试条件下，如何简单快速地判断金属薄膜是否被氧化，确定金属薄膜表面是否粗糙这一问题仍亟待攻克。

技术实现思路

[0005]针对上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法。
>[0006]为实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)以金属为靶材，玻璃为衬底，在惰性气体下进行直流磁控溅射，得到金属薄膜；(2)测试步骤(1)得到的金属薄膜反面的镜像光泽度判断粗糙度。2.如权利要求1所述快速判别金属薄膜粗糙度的方法，其特征在于，所述金属薄膜反面为金属薄膜的衬底面。3.如权利要求1所述快速判别金属薄膜粗糙度的方法，其特征在于，所述金属薄膜的厚度为500
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2000nm。4.如权利要求1所述快速判别金属薄膜粗糙度的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，玻璃为无碱超薄玻璃，玻璃的室温热膨胀系≤35.5
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‑7/K，厚度为0.2
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0.6mm；玻璃中碱元素含量≤0.05wt％。5.如权利要求1所述快速判别金属薄膜粗糙度的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，金属为金属铟、金属钯、金属镍、金属铬中的一种，金属的纯度≥99.97％。6.如权利要求1所述快速判别金属薄膜粗糙度的方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤惠淋，宋世金，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：