下载一种大量程的光谱共焦位移检测装置的技术资料

文档序号:30408051

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本发明提供一种大量程的光谱共焦位移检测装置,包括白光光源、狭缝、准直透镜、分光棱镜、菲涅尔透镜、被测物、聚焦透镜、光谱仪,其中:白光光源出射一束白光,通过狭缝和准直透镜进入分光棱镜,并在经过菲涅尔透镜后沿光轴方向色散,不同波长的光会聚于光轴...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。

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