下载一种基于冗余金属的电磁防护方法的技术资料

文档序号:30367054

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本发明公开了一种基于冗余金属的电磁防护方法,其结构设计简单合理,不仅可降低芯片结构复杂度,而且可降低制造成本,将该方法应用于半导体芯片中,芯片包括晶圆、沉积于晶圆的若干金属层、冗余金属层,金属层包括信号金属层,信号金属层用于信号传输,信号金...
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