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一种图案化二氧化钛纳米线阵列及其制备方法技术
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文档序号:30362804
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本发明涉及一种图案化二氧化钛纳米线阵列及其制备方法,本发明首先结合光刻工艺在含有氧化层的基底表面刻蚀出周期性结构,之后在此结构上沉积二氧化钛晶种,并借助毛细作用力的引导使晶种富集在基底表面凹陷处,再结合二氧化钛纳米线的水热生长技术,实现了二...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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