下载低功耗沟槽式功率MOS器件的技术资料

文档序号:30356489

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本实用新型公开一种低功耗沟槽式功率MOS器件,其轻掺杂P型阱层位于第一重掺杂N型源极区、第二重掺杂N型源极区之间的区域设置有一重掺杂P型区,所述重掺杂P型区上表面与轻掺杂P型阱层上表面齐平,且位于轻掺杂P型阱层下方,且重掺杂P型区下表面延伸...
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