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本发明为一种具有3D电路的微机电探针测试头及探针卡，该探针头包括载体及多个探针，该载体具有上表面、侧面及下表面，中央具有窗口，载体上设有至少一组3D电路，该3D电路由多个线路分布且相连于上表面、侧面及上表面，且于上表面设有多个上接垫，下表面...
该专利属于松翰股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过松翰股份有限公司授权不得商用。

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