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本发明提供一种离子注入系统，包含：离子源；以及聚束器，从离子源接收连续离子束并输出聚束式离子束。聚束器可包含漂移管组件，漂移管组件具有交替顺序的接地漂移管和交流电漂移管。漂移管组件可包含：第一接地漂移管，布置成接收连续离子束；至少两个交流电...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

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