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本发明提供一种半导体老旧设备实时数据收集及自动电算装置，包括老旧半导体设备、设备数据接口系统、设备测试结果文件、实时数据传输客户端、实时数据传输平台、一体化电算平台，设备数据接口系统，老旧半导体设备的数据接口通过设备数据接口系统与实时数据传...
该专利属于海太半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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