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本发明实施例公开了一种扰动力生成装置及方法。其中,扰动力生成装置包括:流体源;至少一个扰动力调节单元,任一扰动力调节单元的入口与流体源的出口连通,任一扰动力调节单元包括:扰动力波动值生成支路,扰动力波动值生成支路的入口与扰动力调节单元的入口...该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。
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