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本发明公开了一种晶圆自动清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括箱体、过滤箱、电机、底座，箱体上设有操作板，操作版下侧设有插入孔，箱体一侧固定设有过滤箱，电机输出轴固定连接有均匀排列的连接杆，连接杆上通过关节连接有摆动柱，输出轴顶端固定设有与连...
该专利属于上海申和热磁电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海申和热磁电子有限公司授权不得商用。

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