下载一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备的技术资料

文档序号:30326485

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本发明涉及半导体制造领域,具体涉及一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备,底壳与釜体转动连接,进气阀与釜体连通,进气阀和氮气供应装置连接通入氮气进行保护;进料壳的第一进料口放入甲苯,第二进料口放入需要萃取的2
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