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反射式空间光调节器的结构制造技术
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下载反射式空间光调节器的结构的技术资料
文档序号:3029007
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本发明是空间光调节器(100),具有选择性地反射的可偏转微镜阵列(103)板(202),由第一衬底(105)制造。在另一衬底上,有用于微镜阵列(103)的寻址和控制电路(106),其使得控制电路(106)控制施加到与微镜板(204)相关的选...
该专利属于明锐有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过明锐有限公司授权不得商用。
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