专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社荏原制作所
>
清洗部件的清洗装置、基板清洗装置及清洗部件组件制造方法及图纸
>技术资料下载
下载清洗部件的清洗装置、基板清洗装置及清洗部件组件的技术资料
文档序号:30280201
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
作为本发明的一方式,清洗部件的清洗装置具有:保持虚设基板(Wd)的基板支承部(200);保持具有清洗部件(90)的清洗部件组件(1)的保持部(100);使所述清洗部件旋转的部件旋转部(80);向所述清洗部件内供给清洗液的内清洗液供给部(11...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。