下载一种12吋晶圆盒门体解锁机构的技术资料

文档序号:30278672

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本实用新型提出一种12吋晶圆盒门体解锁机构,包括支承装配组件、吸合定位组件、插接定位组件、插接解锁组件及解锁驱动组件,支承装配组件安装于移动机构上,支承装配组件上具有安装空间,吸合定位组件安装于支承装配组件上,并与晶圆盒门体的外壁表面配合,...
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